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【特長】●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。【用途】●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。【仕様】●排気速度(L/min)50/60Hz:5/6●到達圧力(Pa):4×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●寸法(mm):80×199×156●騒音値(dB):-●吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6●質量(kg):2.5●サーマルプロテクタ付●排気速度50/60Hz(L/min):5/6●吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6●最大寸法(mm):80(W)×199(L)×156(H)【材質/仕上】【セット内容/付属品】【注意】●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。【JANコード】4571133301136【質量】2.5KG【ブランド】ULVAC    【原産国】日本【メーカー名】アルバック機工(株)

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